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题名:
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硅片加工工艺学 gui pian jia gong gong yi xue / (美)美国集成电路工程公司著 , 高融,苏明哲译 |
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ISBN:
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价格： CNY1.20 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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201页 18cm |
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出版发行:
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出版地： 上海 出版社： 上海科学技术文献出版社 出版日期： 1985.7 |
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主题词:
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半导体工艺设备 |
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中图分类法:
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TN305 版次： 4 |
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其它题名:
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Silicon Wafer Process Technology |
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次要责任者:
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高融 gao rong 译 |
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次要责任者:
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苏明哲 su ming zhe 译 |
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次要责任者:
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诸民家 zhu min jia 校 |
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附注:
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其他题名：Silicon Wafer Process Technology |
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主要团体责任者:
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美国集成电路工程公司 mei guo ji cheng dian lu gong cheng gong si 著 |